SJT 31079-1994 正、负胶显示影机、匀胶机完好要求和检查评定方法
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ID： |
7962A1C8CB754402A5F36E82C08FF7E7 |
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0.31 |
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3 |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,正胶显影机、负胶显影机、匀 SJ/T 31079-94,胶机完好要求和检査评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了正胶显影机、负胶显影机、匀胶机和擦片机的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于半导体集成电路、晶体管生产中,硅片正性胶显影的正胶显影机、负性胶显,影的负胶显影机、硅片涂胶自动匀胶机和自动擦片机,2完好要求,2.1主要技术指标,正胶显影机、负胶显影机和匀胶机的主要技术指标完好要求和检测方法,见表1,表1,序号检测项目完好标准检测方法,1,几何,精度,主轴轴肩的,跳 动,式〇, 05mm,固定指示器,使其测头垂直触及主轴轴肩支承面靠,近边缘处。旋转主轴检测,误差以指示器读数的最大差值计.,主轴定心轴颈的,径向跳动,く0. 03mm,固定指示器,使其测头触及主轴定心轴颈表面,旋,转主轴检测,误差以指示器读数的最大差值计.,2 主轴转速精度±20r/min 用闪光测速仪测量主轴旋轴速度,计算转速精度,3 热板炉温控精度±L5P 用点温度计测量,4,负荷、旋转条件下:承片台,吸附真空极限压カ（可调）,0. O666MPa 观察真空表示值,檢査承片台的吸附真空极限压カ,5 显影液温控精度±5℃ 用温度计检测显影液温度,6 调胶量恒定误差^0.15ml 用量筒测量滴胶量,7,去胶硅片边缘胶的宽度范,围（可调）,〇.2mm 用长度测量器具和放大镜测量硅片上边蒙除胶情况,注:①正胶显影机为1.5项指标;,②负胶显影机擦片机为1.4项指标;,③匀胶机的主要技术指标项目为:1、2、3、4、6、7,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准 1994-06-01实施,— 1 —,SJ/T 31079-94,2.2 操作系统,各种操作开关、按钮启动灵活,定位可靠;各调整旋钮、手柄转动灵活,锁紧可靠,2.3 传动系统,2. 3-1传动机构各部无松动现象,传动平稳,运行可靠,无冲击、振动,无异常噪音,2. 3.2真空泵运转平稳;真空管路整齐、清洁,连接牢固、密封性好,无泄漏现象,真空泵及其系统完好要求,参照SJ/T 31412-94执行,2. 3. 3设备连续运转4h后,传动机构各滚动轴承温度不得大于30C,2-4气动系统,2.4 .1气动系统各装置完整清洁,无腐蚀、锈蚀现象,2.4 -2各气动元件动作灵敏、可靠,无振动、无爬行,无泄漏现象,2.4.3 各气动管路齐全、整洁,无老化、污染,气路畅通,接头处密封性好、无泄漏,2.4.4 过滤器工作正常,油雾器油位清晰,油量调节符合规定,2-4-5吹、吸两用真空泵工作平稳,无振动、无冲击。各仪表齐全、完整无损,指示准确、灵敏,有有效期校验合格证,2.5电气系统,2. 5.1各元器件齐全、完整,工作可靠,无老化现象,2.5- 2电气性能良好,运行安全、可靠,保护装置齐全、有效,2.5- 3线路完整,绝缘层破裂、无老化、无漏电现象,2.5 .4电气柜内部清洁,线路布置整齐,标志齐全、明显,各端子紧固无松动现象,2.5 -5仪表齐全、无缺损,指示灵敏、准确,有有效期校验合格证,2.6 微机控制系统,2.6.1 各开关、按钮、操作键完整无损,动作灵敏、可靠,控制装置各组成部分保持完整、功能,齐全,性能稳定,工作状态良好,显示清晰,2.6- 2显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,2.6- 3输入/输岀程序正确无误,2.6.4 打印机、穿孔机与主机接口良好,工作正常,2.6.5 装置内部清洁,布线整齐,线路无老化、破裂,各线路标志齐全、正确,2. 6- 6所有裸露导体件（包括外壳）,必须与保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和,整机外壳之间的电阻不得大于0.1,2.z润滑系统,2. 7.1润滑装置齐全,完整无损,作用良好,2.7- 2管路齐全,油路畅通,油窗明亮,油标醒目,油质、油量符合规定要求,2-7.3油嘴、油杯、油眼清洁,无堵塞现象,润滑良好,基本无漏油,即每ー漏油点滴油数3min,内,不得超过一滴,2-8安全防护,2-8.1各安全防护装置齐全、无缺损,固定牢固,作用可靠,2.8.2接地（或零）可靠,标志明显,2.9维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,—2 —,SJ/T 31079-94,3检查、评定方法,3.1 检査方法,3 .1.1对各系统完好要求所列内容,凡有参数要求的,应运用相应仪器,检具检测;其他均在,设备现场,采用主观法检査,3-1.2性能技术指标完好要求,按表1所列方法检涮,3-2评定方法,3 - 2-1完好要求中,2.1各项目和2.8.1、2.8.2为主要项目,其余为次要项目,3- 2- 2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3-2-3完好设备的维护保养,要求应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由国营西北机器厂组织起草,本标准主要起草人:陈成忠,—3 一……
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